матрица в миллиарды микрозеркал. Но генерация рентгеновского излучения это либо синхротрон либо пары олова (последний принцип описан и в концепции и реализован в euv-сканерах asml). Но из какого такого вольфрама должны быть мемс-микрозеркала что бы их не плавило этим самым сгенерированным на парах легкоплавких металлов рентгеновским излучением? )
Экспериментальная установка на матрице микрофокусных рентгеновских трубок уже разработана и испытана. матрица 300x300 элементов разработана и испытана. Получены линии и кружки размером от 38 до 50 нм. Ничего там не сгорает, потому как энергия рентгеновских пучков достаточна для засвета фоторезиста, но недостаточна для прожига матрицы. Эти эксперименты показали правильность концепции в целом и техническую возможность постройки такого литографа.
Это радует, что идут в том числе экспериментальные разработки пруф оф концепт. Но размер микрозеркал на матрицах 300*300 и 100000*10000 на условный миллиард элементов все-таки различается на порядки. Значит и температурные(как минимум) характеристики разные. А это все же микромеханизм с определенными требованиями по прецизионности и надежности каждого микрозеркала после многократного использования, а не неподвижная фотомаска.
Ни где я так понимаю, только в научных исследованиях
https://fcpir.ru/participation_in_program/contracts/14.578.21.0250/
Обсуждают сегодня